Пленарные доклады
К.В.Руденко, А.В. Мяконьких, В.Ф. Лукичев.
«Криогенные плазменные технологии в кремниевой микроэлектронике: 3D интегральные схемы или как продлить жизнь закона Мура».
Отделение ФТИ им. К.А. Валиева, Центр перспективной микроэлектроники НИЦ «Курчатовский институт»
Приглашенные доклады