Приглашенные докладчики
Пленарный доклад
Константин Васильевич Руденко, Отделение ФТИ им. К.А. Валиева, Центр перспективной микроэлектроники НИЦ «Курчатовский институт»
А.В. Мяконьких, В.Ф. Лукичев. «Криогенные плазменные технологии в кремниевой микроэлектронике: 3D интегральные схемы или как продлить жизнь закона Мура».